টাইটানিয়াম ঘূর্ণায়মান সিলিন্ডার লক্ষ্য

এটি একটি উপাদান যা শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহৃত হয়, যা উপাদানের পাতলা ফিল্মগুলিকে একটি স্তরে জমা করার একটি পদ্ধতি। টাইটানিয়াম টিউব টার্গেট খাঁটি টাইটানিয়াম দিয়ে তৈরি এবং এটি একটি সিলিন্ডারের মতো আকৃতির যা পিভিডি প্রক্রিয়া চলাকালীন ঘোরে।

PVD প্রক্রিয়া একটি বৈদ্যুতিক চাপ বা ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং ব্যবহার করে লক্ষ্যবস্তুকে বাষ্পীভূত করার জন্য কাজ করে, এই ক্ষেত্রে, টাইটানিয়াম, এবং এটি একটি স্তরের উপর একটি পাতলা ফিল্ম হিসাবে জমা করে। ঘূর্ণায়মান সিলিন্ডার টার্গেট টাইটানিয়াম ফিল্মের সাবস্ট্রেটে আরও অভিন্ন জমার অনুমতি দেয়।

PVD প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহারের সুবিধাগুলির মধ্যে রয়েছে জমাকৃত ফিল্মের উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ জমার হার এবং উন্নত ফিল্ম আনুগত্য। ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের জন্য টাইটানিয়াম রোটারি লক্ষ্যগুলি উচ্চ-মানের টাইটানিয়াম উপাদান দিয়ে তৈরি এবং PVD প্রক্রিয়া চলাকালীন উচ্চ তাপমাত্রা এবং যান্ত্রিক চাপ সহ্য করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে।

স্পেসিফিকেশন ভূমিকা

সাধারণ আকারের ধরন:

আমাদের সুবিধা

আমরা যে টাইটানিয়াম টার্গেটগুলি সরবরাহ করি তাতে ছোট শস্য, অভিন্ন বিতরণ, উচ্চ বিশুদ্ধতা, কয়েকটি অন্তর্ভুক্তি এবং উচ্চ বিশুদ্ধতা রয়েছে। জমা টিআইএন ফিল্মটি সাজসজ্জা, টুলিং, সেমিকন্ডাক্টর এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ভাল আনুগত্য, অভিন্ন আবরণ এবং উজ্জ্বল রঙের সাথে ব্যবহার করা হয়।

--বিশুদ্ধতা

একটি যোগ্য টাইটানিয়াম স্পুটারিং টার্গেট তৈরি করতে, বিশুদ্ধতা তার গুরুত্বপূর্ণ কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি। টাইটানিয়াম লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা স্পুটার আবরণের কার্যকারিতার উপর একটি দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে। টাইটানিয়াম টার্গেটের বিশুদ্ধতা যত বেশি হবে, স্পুটারড টাইটানিয়াম ফিল্মের অশুদ্ধতা উপাদান কণা তত কম হবে, যার ফলে আরও ভাল ক্ষয় প্রতিরোধের এবং বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্য সহ আরও ভাল PVD আবরণের কার্যকারিতা হবে। যাইহোক, ব্যবহারিক অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে, বিভিন্ন উদ্দেশ্যে টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলির বিশুদ্ধতার জন্য বিভিন্ন প্রয়োজনীয়তা রয়েছে। টার্গেট ম্যাটেরিয়ালকে ক্যাথোডের উৎস হিসেবে স্পুটারিংয়ে ব্যবহার করা হয় এবং উপাদানের মধ্যে থাকা অপরিষ্কার উপাদান এবং পোরোসিটি অন্তর্ভুক্তি হল জমা হওয়া ফিল্মের প্রধান দূষণের উৎস। পোরোসিটি ইনক্লুশনগুলি মূলত ইংগটের অ-ধ্বংসাত্মক পরীক্ষার সময় সরানো হবে, এবং ছিদ্রযুক্ত অন্তর্ভুক্তিগুলি যা অপসারণ করা হয় না তা স্পাটারিং প্রক্রিয়ার সময় স্রাবের কারণ হবে, যার ফলে ফিল্মের গুণমানকে প্রভাবিত করবে; অশুদ্ধতা উপাদানের বিষয়বস্তু শুধুমাত্র সম্পূর্ণ উপাদান বিশ্লেষণের পরীক্ষার ফলাফলে প্রতিফলিত হতে পারে, মোট অপবিত্রতার বিষয়বস্তু যত কম হবে, টাইটানিয়াম লক্ষ্যের বিশুদ্ধতা তত বেশি হবে।

--ঘনত্ব

টাইটানিয়াম লক্ষ্যগুলির গুণমান পরিমাপের জন্য ঘনত্বও একটি গুরুত্বপূর্ণ ফ্যাক্টর। টার্গেট সলিডের ছিদ্রতা কমাতে এবং স্পুটারড ফিল্মের কর্মক্ষমতা উন্নত করতে, লক্ষ্যের সাধারণত উচ্চ ঘনত্ব থাকা প্রয়োজন।

লক্ষ্যের ঘনত্ব শুধুমাত্র স্পটারিং রেটকেই নয়, ফিল্মের বৈদ্যুতিক এবং অপটিক্যাল বৈশিষ্ট্যগুলিকেও প্রভাবিত করে। টার্গেট ডেনসিটি যত বেশি হবে, ফিল্মের পারফরম্যান্স তত ভালো হবে। উপরন্তু, টার্গেটের ঘনত্ব এবং শক্তি বৃদ্ধির ফলে টার্গেটকে স্পুটারিংয়ের সময় তাপীয় চাপ আরও ভালভাবে সহ্য করার অনুমতি দেয়। ঘনত্ব টার্গেটের মূল কর্মক্ষমতা সূচকগুলির মধ্যে একটি।

--কণার আকার এবং এর বিতরণ

সাধারণত, স্পুটারিং টার্গেটগুলি হল পলিক্রিস্টালাইন স্ট্রাকচার যার মধ্যে শস্যের আকার বিভিন্ন মাইক্রোমিটার থেকে কয়েক মিলিমিটার পর্যন্ত। একই লক্ষ্যবস্তুর জন্য, লক্ষ্যের কণার আকার যত ছোট হবে, লক্ষ্যের স্পুটারিং গতি তত দ্রুত হবে; উপরন্তু, ছোট কণা আকার পার্থক্য সঙ্গে লক্ষ্য একটি আরো অভিন্ন বেধ সঙ্গে একটি ফিল্ম sputter পারেন. সমীক্ষায় দেখা গেছে যে যদি টাইটানিয়াম লক্ষ্যের শস্যের আকার 100 μm এর নিচে নিয়ন্ত্রণ করা হয় এবং শস্যের আকারের বৈচিত্র্য 20% এর মধ্যে রাখা হয়, তাহলে স্পুটার ফিল্মের গুণমান ব্যাপকভাবে উন্নত করা যেতে পারে।

--ক্রিস্টালোগ্রাফিক ওরিয়েন্টেশন

টাইটানিয়ামের একটি ক্লোজ-প্যাকড হেক্সাগোনাল গঠন রয়েছে। যেহেতু টাইটানিয়াম টার্গেটের পরমাণুগুলি স্পাটারিংয়ের সময় পরমাণুর ষড়ভুজাকার ক্লোজ-প্যাকড দিক বরাবর সহজেই ছিটকে যায়, তাই উচ্চতর স্পাটারিং হার অর্জন করার জন্য, পদ্ধতি পরিবর্তন করে লক্ষ্যের স্ফটিক কাঠামো পরিবর্তন করা যেতে পারে। sputtering হার বৃদ্ধি. টাইটানিয়াম টার্গেটের ক্রিস্টালোগ্রাফিক দিকটিও ছিদ্রযুক্ত ফিল্মের পুরুত্বের অভিন্নতার উপর একটি দুর্দান্ত প্রভাব ফেলে।

--কাঠামোগত অভিন্নতা

লক্ষ্যের গুণমান পরীক্ষা করার জন্য কাঠামোগত অভিন্নতাও একটি গুরুত্বপূর্ণ সূচক। টাইটানিয়াম টার্গেটের জন্য, শুধুমাত্র টার্গেটের স্পুটারিং প্লেন নয়, সাধারণ দিক গঠন, শস্যের অভিযোজন এবং স্পুটারিং প্লেনের গড় দানা আকারের অভিন্নতাও প্রয়োজন। শুধুমাত্র এই ভাবে, টাইটানিয়াম টার্গেট তার পরিষেবা জীবনের সময় একই সময়ে অভিন্ন বেধ, নির্ভরযোগ্য গুণমান এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ শস্যের আকার সহ একটি টাইটানিয়াম ফিল্ম পেতে পারে।

স্পেসিফিকেশন কেস

ঘূর্ণন গতি: লক্ষ্যটি আরও অভিন্ন জমার হার অর্জন করতে এবং লক্ষ্যের আয়ু বাড়ানোর জন্য কয়েক হাজার RPM পর্যন্ত গতিতে ঘোরাতে সক্ষম হওয়া উচিত।

কুলিং: টাইটানিয়াম টিউব টার্গেটকে জল-ঠান্ডা করা উচিত যাতে জমা প্রক্রিয়া চলাকালীন উত্পন্ন তাপ নষ্ট হয় এবং লক্ষ্যের ক্ষতি রোধ করা যায়।
ব্যাকিং প্লেট: একটি টাইটানিয়াম ব্যাকিং প্লেট সাধারণত ঘূর্ণায়মান সিলিন্ডার লক্ষ্যকে সমর্থন করতে এবং বৈদ্যুতিক যোগাযোগ সরবরাহ করতে ব্যবহৃত হয়।
বন্ধন পদ্ধতি: টার্গেট সাধারণত ব্যাকিং প্লেটের সাথে বন্ধন করা হয় ডিফিউশন বন্ডিং বা অন্যান্য উচ্চ-শক্তির বন্ধন পদ্ধতি ব্যবহার করে ভাল তাপ এবং বৈদ্যুতিক পরিবাহিতা নিশ্চিত করার জন্য।
বিশুদ্ধতা: ম্যাগনেট্রন স্পুটারিংয়ের জন্য টাইটানিয়াম ঘূর্ণমান লক্ষ্যগুলির উচ্চ স্তরের বিশুদ্ধতা থাকা উচিত যাতে জমা হওয়া ফিল্মগুলির অমেধ্যগুলি হ্রাস করা যায় এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা নিশ্চিত করা যায়। বেশিরভাগ অ্যাপ্লিকেশনের জন্য অপরিচ্ছন্নতার স্তর প্রতি মিলিয়ন (পিপিএম) 1000 পার্টসের কম হওয়া উচিত।

সামগ্রিকভাবে, একটি টাইটানিয়াম ঘূর্ণায়মান সিলিন্ডার লক্ষ্যের স্পেসিফিকেশন নির্দিষ্ট অ্যাপ্লিকেশন প্রয়োজনীয়তার উপর নির্ভর করে পরিবর্তিত হবে এবং এই চাহিদাগুলি পূরণ করার জন্য লক্ষ্যটি কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।

গরম ট্যাগ: ম্যাগনেট্রন স্পুটারিং, টাইটানিয়াম টিউব টার্গেটের জন্য টাইটানিয়াম রোটারি লক্ষ্য